Dünnschichtinspektion

Prozessbegleitende Prüfung dünner Schichten zur Qualitätssicherung

Dünne Beschichtungen und deren Beschaffenheit können entscheidend für die Qualität von Produkten sein. Oftmals müssen solche dünnen Schichten mit hoher Geschwindigkeit auf große Oberflächen aufgetragen werden. Fehlerhaft oder unvollständig aufgebrachte Beschichtungen beeinträchtigen die weitere Verarbeitung oder die Funktion der Produkte.

Für die Funktionalität von Beschichtungen, die beispielsweise zum Schutz vor Korrosion oder als Haftvermittler auf Bleche oder andere Oberflächen aufgetragen werden, kommt es wesentlich auf die Einhaltung der Solldicke und Zusammensetzung an.

Bei der Qualitätssicherung moderner Kunststoffprodukte spielt die Prüfung funktionaler Beschichtungen mit Dicken von 10 nm bis 100 nm eine wichtige Rolle. Hierbei ist die produktionsbegleitende, zerstörungsfreie Inspektion der Schichten entscheidend.

Unsere Systeme messen die Dicke von Schichten aus unterschiedlichsten Prozessen bis in den Nanometerbereich

Fraunhofer IPM entwickelt Technologien, um Schichten und Oberflächenveredelungen zu prüfen – flächendeckend, schnell und direkt in der Produktion. Unsere Systeme messen die Dicke von Schichten aus unterschiedlichsten Prozessen bis in den Nanometerbereich.

Wir haben Erfahrung mit einem breiten Spektrum von Beschichtungsverfahren:

• Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und Atomlagenabscheidung (ALD)
• Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), etwa Elektronenstrahlverdampfung, thermische Verdampfung oder Sputtern
• Galvanische Verfahren
• Sol-Gel Beschichtungen
• Sprühverfahren, Anstrichen, Tauchverfahren oder Rotationsbeschichtung (Spincoaten)

Um die erzeugten Schichten in Produktionsgeschwindigkeit zu inspizieren, nutzen wir verschiedene laser- und kamerabasierte Verfahren, darunter

• Fluoreszenzmesstechnik
• Infrarot-Reflektometrie oder Interferometrie
• Laserinduzierte Plasmaspektroskopie