Gruppe Thermische Messtechnik und Systeme

Die Kompetenzen der Gruppe umfassen die Mikrosystemtechnik, Sensorik, Messsystementwicklung und Multiphysik-Simulation. Wir haben jahrelange Erfahrung in der Entwicklung von MEMS-basierten Reinraum-Fertigungstechnologien für die Produktion von Sensoren und thermoelektrischen Modulen. Mikrostrukturen und Mikrosysteme zur temperaturabhängigen Bestimmung von Materialparametern – wie z. B. Thermopiles – entwickeln wir exakt zugeschnitten auf die jeweilige Anwendung.

Die Arbeiten in der Gruppe umfassen die Modellierung, die Layout- und Prozessentwicklung sowie die Material-, Bauteil- und Systemcharakterisierung. Unsere Kompetenz wächst stetig mit dem Einsatz neuer Verfahren, Materialien und Messtechniken.

Maßgeschneiderte Mikrostrukturen

• Elektrische und thermische Vermessung von Analyten oder funktionellen Materialien
• Charakterisierung flüssiger Betriebsstoffe (z. B. Öle, Kühlmittel)
• Detektion von Belägen (z. B. Verkalkungen, Fouling oder Scaling)
• Untersuchung von Festkörpern
• Sensoren für brennbare Gase

Thermische Messsysteme

• Messsysteme zur temperaturabhängigen Materialcharakterisierung über große Temperaturbereiche (–200 bis 1000 °C), z. B. Messung von Seebeck- oder Hall-Koeffizienten oder Messung thermischer und elektrischer Wärmeleitfähigkeiten (inkl. Service und Wartung)
• Robuste elektronische Systeme für raue Umgebungen

Simulation physikalischer Prozesse

• Multiphysik-Simulationen für gekoppelte elektrische, thermische, mechanische und fluidische Effekte vom Mikrosystem bis hin zum kilometergroßen Energiespeicher